帶有XTrace微點X射線源的Micro-XRF將完整的micro-XRF光譜儀的功能添加到掃描電子顯微鏡中。 XTrace適用于幾乎任何SEM的自由傾斜腔室端口。用戶可以從微量元素靈敏度和XRF分析的更高信息深度中受益。

　　用戶友好的用于SEM的Micro-XRF系統

　　使用HyperMap進行分布分析可存儲每個地圖點的完整光譜，以進行在線和離線分析可以使用Micro-XRF和EDS分析樣品而無需改變位置這兩種方法都集成在同一個分析軟件套件中 - ESPRIT 2.0不干擾正常的SEM操作，XTrace可以在大多數時間保持在其測量位置。

　　完整的micro-XRF光譜儀，無需投資

　　分析結果與獨立系統的結果相比較

　　圖像平鋪允許映射大區域

　　可選擇的初級輻射濾波器，以抑制衍射峰

　　使用SEM電動載物臺

　　允許樣品傾斜以產生最小光斑尺寸。

　　易諾與美國伊諾斯公司（Innov-X）開發生產的伊諾斯Innov-X光譜儀有著良好的合作關系。